面向直接成像领域大幅面移动扫描曝光系统解决方案

      LDI9500是闻亭面向PCB线路板印刷直接成像工艺专用光机，该系列是闻亭首次采用半导体激光作为光源的高性能光学引擎。得益于激光系统的高效转换，在较小功率输入的情况下即可获得理想输出功光率，使得整机在散热和性能之间得到完美平衡。同时，基于激光优异的相干性能，该产品对比度扩大到空前的5000：1，远超普通光源，结合闻亭高超的镜头加工工艺和独特的光路设计，使得该光机完全适配对于最低线宽有极致要求的光刻领域。产品采用嵌入式系统架构，搭载V6 FPGA平台，支持高速数据传输，满足用户移动扫描曝光需求，刀片式设计轻松多模块集成，是多头拼接运动曝光系统最佳选择。

     闻亭为开发者提供全面的技术支持和详细的开发文档。

⦗产品规格⦘

• DMD芯片：DLP9500@10.8um

• 光源：半导体激光器（可选）

• 波长：450nm，支持365/385nm

• 输出光功率：≻5000mw

• 光均匀性：≻92%

• 对比度：5000：1

• 有效像素：1920*384

• 投影精度：28um

以上产品规格仅做参考，详细指标请咨询当地销售人员 咨询